官方网站-首页
【导语】据《韩国经济日报》今日消息，三星电子拟投入约1.1万亿韩元（约合54.92亿元人民币）引入两台最新High-NA双级极紫外光刻机，其中年内一台、明年上半年一台，用于产品量产。该设备为Twin Scan EXE:5200B，可大幅提升生产效率，助力降低工艺复杂性、提高晶圆产量。
《韩国经济日报》今日报道称，三星电子计划投入约 1.1 万亿韩元（IT之家注：现汇率约合 54.92 亿元人民币）引进两台最新的 High-NA 双级极紫外（EUV）光刻机。
据业内人士透露，三星电子此前仅在京畿道园区引进过一台用于研发的 High-NA EUV 设备，此次引进的机器将用于“产品量产”，尚属首次。三星电子计划在年内引进一台，并在明年上半年再引进一台。
Twin Scan EXE:5200B 是第二款 0.55 数值孔径（NA）或“High-NA”极紫外光刻系统，也是 TWINSCAN EXE:5000 的升级版，在提升对准精度的同时显著提高了生产效率，被视为生产下一代半导体芯片和高性能 DRAM 的必备设备(bèi)。
相(xiāng)较(jiào)于(yú) NXE 系(xì)统(tǒng)，EXE:5200B 成(chéng)像(xiàng)对(duì)比(bǐ)度(dù)提(tí)升(shēng) 40%，分(fēn)辨(biàn)率(lǜ)达(dá) 8nm，使(shǐ)芯(xīn)片(piàn)制(zhì)造(zào)商(shāng)能(néng)够(gòu)通(tōng)过(guò)单次曝光实现比 TWINSCAN NXE 系统精细 1.7 倍的电路刻蚀，从而将晶体管密度提升至原来的 2.9 倍。这有助于降低大规模生产中的工艺复杂(zá)性，提高客户晶圆厂的晶圆产量。